양면 웨이퍼 드릴링 장비 처짐 검토

초정밀 장비의 스트로크 변경과 자중 처짐 구조해석

보안상 세부 치수와 고객사 식별 정보는 제외하고, 포트폴리오용으로 일반화하여 표시합니다.

구조해석정적해석처짐검토

프로젝트 개요

대구경 SiC 웨이퍼 대응을 위해 장비 스트로크를 확장하면서, 구조 변경 후 자중에 의한 처짐을 검토한 프로젝트입니다. 기존 구동부를 최대한 유지하며 사양 변경에 따른 비용과 일정을 최소화했습니다.