양면 웨이퍼 드릴링 장비 처짐 검토

프로젝트 개요

대구경 SiC 웨이퍼 대응을 위해 장비 스트로크를 확장하면서, 구조 변경 후 자중에 의한 처짐을 검토한 프로젝트입니다. 기존 구동부를 최대한 유지하며 사양 변경에 따른 비용과 일정을 최소화했습니다.

수행 내용

• SiC 웨이퍼 양면 드릴링 장비 구조 변경
• 대구경 웨이퍼 대응을 위한 스트로크 확장
• 기존 기구물 재활용을 고려한 설계 검토
• 자중에 의한 응력 및 처짐 검토

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