両面ウェハドリリング装置のたわみ検討

プロジェクト概要

大口径SiCウェハに対応するため装置ストロークを拡張し、構造変更後の自重によるたわみを検討しました。既存駆動部を最大限に維持し、仕様変更に伴うコストと日程への影響を抑えています。

実施内容

• SiCウェハ両面ドリリング装置の構造変更
• 大口径ウェハ対応のストローク拡張
• 既存機構の再活用を考慮した設計検討
• 自重による応力およびたわみの検討

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